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岚县氧气销售讲解高纯特种气体有哪些及用途

更新时间: 2025-03-10

岚县氧气销售讲解高纯特种气体有哪些及用途

特种气体在现代生活中运用广泛,工厂、医疗、食品、娱乐等都涵盖,下面介绍下特种气体包括些什么:1

1、氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气体、在线仪表标准气、校正气、零点气、平衡气;用于半导体器件制备工艺中外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻,退火 搭接、烧结等工序;电器、食品包装,化学等工业也要用氮气。

2、氧气-O2,>99.995%,用作标准气体、在线仪表标准气体、校正气、零点气;还可用于医疗气,在半导体器件制备工艺中用于热氧化,扩散、化学气相淀积、等离子干刻等工序,以及用于光导纤维的制备。

3、氩气-Ar,>99.999%,用作标准气体、零点气、平衡气;甩于半导体器件制备工艺中晶体生长、热氧化、外延,扩散、氮化,喷射,等离子干刻、载流、退火搭接,烧结等工序;特种混合气与工业混合气也使用氩。

4、氢气-H2,> 99.999%,用作标准气体、零点气、平衡气、校正气、在线仪表标准气; 在半导体器件制备工艺中用于晶体生长,热氧化,外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等工序;在化学,冶金等工业中也有用。

5、氦气-He,>99.999% ,用作标准气体、零点气 平衡气,校正气、医疗气、用于半导体器件错备工艺中晶体生长,等离子干刻 载流等工序;另外,特种混合气与工业混台气也常用.

6、**-Cl2,>99.86 %,用作标准气体,校正气,用于半导体器件制备工艺中晶体生长、等离子干刻、热氧化等工序;另外,用于水净化,纸浆与纺织品的漂白、工业废品、污水、 游泳池的卫生处理,制备许多化学产品。


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